RTO焚燒爐半導(dǎo)體廢氣處理 

1、 半導(dǎo)體廢氣處理組件

半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的主要成分是有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)成分：非甲烷碳?xì)浠衔?、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿成分：氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。

2、 工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)

3、 半導(dǎo)體廢氣處理方法

一般半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下：

（1） 預(yù)處理階段：采用噴淋塔對(duì)廢水進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵和溶于水的有害氣體。

（2） 主要處理階段：這一階段，較為常用和有效的方法有：紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。